7月13日下午，烈日炎炎。在上海青浦举行的一场简陋的出机仪式，却刻下了中国半导体设备自主创新的一个重要里程碑。
图说：出机仪式现场
这一天，上海精测向国内最领先的晶圆厂中芯国际(北京)交付了两款前道量测检测设备，该设备从零部件到整机设计制造，均具有完全自主知识产权。
这是上海精测的重要突破，也是中国半导体高端设备国产化的重要突破。
整机、核心零部件完全自主研发
7月13日，精测电子控股子公司上海精测在上海举行了庆祝“上海精测半导体国内首台OCD量测设备与晶圆缺陷复查设备出机中芯国际”的仪式。
上海精测本次交付的设备有多先进？又先进在哪里？
上海证券报记者现场采访获悉，上海精测本次交付的光学线宽测量机台(OCD)、晶圆缺陷复查设备(review SEM)均为12英寸设备，将用于中芯国际(北京)12英寸生产线。尤为难得的是，公司上述2款设备均实现了整机、大部分核心零部件的完全自主研发。
在庆祝仪式上，精测电子副总经理、上海精测总经理马骏介绍，OCD量测设备的市场一直为美资公司垄断，公司本次出货机台名称为300FD Profile，是该类型机台的国内首台，主要应用于55nm及以下的快速线宽测量。该机台配置了完全自主知识产权的旗舰级椭圆偏振仪、数百核的高速建模运算服务器，以及自主开发的OCD建模与库匹配算法软件Jprofile3.0，可为国内高节点产线提供稳定、实时、高速的量测解决方案。是真正意义上的高端国产化机台。
本次出厂的晶圆缺陷复查设备(review SEM)则是上海精测的另外一项主力产品，也使得公司成为目前全球成功开发该设备的唯一非美系厂商。
马骏介绍，从电子束聚焦、信号接收与传输、小信号放大等，公司完全自研了该设备的核心部件，并用近2年时间打通了电子枪以及磁物镜内核心零件加工环节。
“填补了国内半导体产业链在该领域的空白。”对于上海精测本次交付的OCD、review SEM机台，中芯国际(北京)良率提升工程部总监翟冬梅在现场表示，这是上海精测承接北方集成电路创新中心多元化项目以来，首批交付的设备，是具有里程碑意义的时刻。
翟冬梅介绍，北方集成电路创新中心成立于2017年，是中芯国际的全资子公司，是中芯国际承担设备、材料、工艺验证的平台，将继续致力于帮助国内厂商加快技术验证和经验积累。
上证报记者了解到，本次上海精测出厂的2号机还增加了基于深度学习的智能化自动缺陷检测与分类算法，可进一步帮助客户提升缺陷的分析效率，并显著提升设备的便捷性。
赛道宽广，潜在市场大
前道检测设备事关芯片良率，属于芯片前道制程的关键设备。
公开资料显示，2020年前道检测设备全球市场规模约69亿美元。其中，前五大设备为图形检测、掩膜版量测、膜厚检测、电子束检测、OCD检测，占比分别为32%、15%、12%、11%、10%。
据悉，在半导体检测设备领域，以 KLA(科磊)为首，AMAT(应用材料)、Hitachi(日立)等海外巨头合计占据了超过90%的市场份额。
记者了解到，在前道检测设备领域，精测电子已经布局了膜厚检测设备、OCD检测设备、晶圆缺陷复查设备(review SEM)等三个赛道，并成功卡位，累计出货设备几十台。
成功来之不易，未来仍需努力。
据马骏介绍，过去3年，上海精测主要精力用在解决设备开发中的技术问题，同时着力在各类前道装备通过一线厂商的技术与量产能力验证。明年起，随着各类设备验证通过，产能放量后的生产以及各个客户端的技术支持问题，将与公司有限的产能、精力，产生日益突出的矛盾。
不过上海精测早就未雨绸缪。2019年10月，上海精测宣布在青浦区赵巷镇建设全球研发中心与生产基地，意在解决半导体产能不足问题。据悉，在各方支持下，该基地的建设进度始终正常进行，预计明年上半年可建成并全面投入使用。
值得一提的是，上海精测的精进，与超级资本——国家大基金的加持不无关系。
据精测电子2019年公告，子公司上海精测获多名股东增资入股，注册资本由1亿元增加至6.5亿元。其中，上海精圆和大基金各出资1亿元，上海半导体及上海青浦各出资5000万元。
据精测电子7月13日晚披露，当日，包括华泰柏瑞、兴全基金等十多家机构共29名机构投资代表对上海精测进行了实地调研。调研内容与此次出机仪式所谈大致相同。
其中被问半导体板块2021年能否扭亏时，公司接待人员表示，半导体研发投入巨大，验证周期长，公司预计2021年在半导体的部分产品线实现扭亏，但整体半导体业务实现盈利仍需要更多时间和努力。
再回看精测电子，除了子公司上海精测在半导体设备获得重要突破外，公司其他检测业务也屡有斩获，其中在新能源电池领域初露峥嵘，显示出极大的爆发力。据悉，在新能源领域的主营产品包括锂电池和燃料电池检测设备等。
成为“半导体、显示、新能源行业以测试设备为核心的综合服务提供商”，是精测电子的愿景。在OCD、review SEM机台交付中芯国际的这一刻，公司离实现愿景更近了一步。
（文章来源：上海证券报）
文章来源：上海证券报
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