至纯科技：公司致力打造高端湿法设备制造开发平台 正有序开展供应链的本地化

每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：柴总。您好。日前盛美上海上市，请问公司的半导体设备与盛美上海半导体设备相比，技术方面有哪些优势，谢谢。

至纯科技(603690.SH)11月22日在投资者互动平台表示，公司致力打造高端湿法设备制造开发平台。公司产品腔体、设备平台设计与工艺技术都和国际湿法设备厂商路线一致，采用先进二流体产生的纳米级水颗粒技术，能高效去除微粒子的同时，还可以避免兆声波的高成本以及对晶圆基底的损伤。公司的湿法设备历经IP自主、供应链自主研发，在国内湿法设备制造基地制造，正有序开展供应链的本地化。

（文章来源：每日经济新闻）

文章来源：每日经济新闻