台积电研发资深副总经理米玉杰在台积电技术论坛上表示，公司将在2024年引进ASML高数值孔径极紫外光(high-NA EUV)光刻机。台积电业务开发资深副总经理张晓强称，台积电2024年还不准备运用新的高数值孔径EUV工具生产，将主要用于与合作伙伴的研究。
（文章来源：界面新闻）
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