9月21日，南大光电(300346.SZ)在接受机构调研时表示，目前氟类特气销售额约占公司销售总额的 60%，已成为公司主要业绩来源之一。光刻胶在进一步的客户验证过程中。ArF 光刻胶是客制化产品，技术含量高，验证周期长。目前产品验证工作正在多家下游主要客户稳步推进。目前公司的氢类特气产品处于满产满销状态，扩产项目建成后，将有效缓解产能压力，满足市场需求，扩大氢类特气业务规模，提升公司核心竞争力。
关于氟类特气氟类特气未来规划，公司表示，氟类特气体量大，增长空间不错，已成为公司主要业绩来源之一。控股子公司山东飞源气体有限公司三氟化氮的产能已由最早的
1000 吨增加到 3800 吨。去年，公司进军内蒙古乌兰察布，计划 3 年时间建成“年产 7200T
电子级三氟化氮项目”，依托当地自然禀赋、供应链、制造、物流和市场等本土优势，打造绿色能源和绿色制造的
“双绿基地”，做强做大含氟电子材料。目前项目建设进展顺利，新增的三氟化氮产能顺利投产并实现销售。
据公司介绍，含氟电子特气是应用于微电子工业(如集成电路、平板显示、太阳能薄膜等)的一种优良等离子蚀刻和清洗材料。技术难度较公司其他产品如氢类特气、前驱体等相对低，因此利润率也相对低一些，但是胜在体量大。公司近年来积极扩产、降本增效、提升品质，加速推动氟类特气的发展，目前销售额约占公司销售总额的
60%，为公司的业绩增长做出了重要贡献。
关于三氟化氮的主要客户，公司表示，三氟化氮主要应用于面板制造、芯片制造过程中的腔体清洗。公司凭借优质的产品及领先的技术水平，已成为国内集成电路及平板显示领域多家领军企业的重要供应商。
有投资者问及国内三氟化氮的主要竞争对手，公司回应称，国内三氟化氮的主要生产厂商还有派瑞特气(中船重工 718
所下属企业)、昊华科技黎明院，他们也在积极扩产。公司希望通过量的增长巩固成本优势，通过品质的提高拓宽应用领域，通过集成式增长不断提升公司三氟化氮产品的市场竞争力，为打造“单项冠军”
产品奠定基础。
关于光刻胶项目的进展情况，公司表示，光刻胶在进一步的客户验证过程中。ArF
光刻胶是客制化产品，技术含量高，验证周期长。目前产品验证工作正在多家下游主要客户稳步推进，且针对同一客户的不同需求开发了不同的产品，以满足下游客户的多样化需求。
对于公司氢类特气的扩产计划，公司表示，公司计划建设“年产 140 吨高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目”，项目建成后，共计增加磷烷年产能 70
吨、砷烷年产能 70
吨。公司预计今年内完成项目建设。氢类电子特气技术含量高、毛利率相对高，是公司主要的业务板块之一。目前公司的氢类特气产品处于满产满销状态，扩产项目建成后，将有效缓解产能压力，满足市场需求，扩大氢类特气业务规模，提升公司核心竞争力。
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