中微公司：公司 12 英寸高端刻蚀设备已应用于 5nm 芯片生产线

IT之家 4 月 6 日消息 据《科创板日报》报道，中微公司董事长、总经理尹志尧今日表示，公司的等离子体刻蚀设备已应用在国际一线客户从 65 纳米到 14 纳米、7 纳米和 5 纳米及其他先进的集成电路加工制造生产线和先进封装生产线。

其中，公司开发的 12 英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于 5 纳米、5 纳米以下器件中若干关键步骤的加工。

中微公司 2 月披露的 2020 年业绩快报显示，中微公司 2020 年刻蚀设备收入为 12.89 亿元，同比增长约 58.49%；由于市场原因，中微公司 2020 年 MOCVD 设备收入为 4.96 亿元，同比下降约 34.47%。