日韩两地齐增产，住友化学 ArF 用光刻胶有望扩产 1.5 倍

9 月 1 日消息 为应对当地芯片厂需求，日本大厂住友化学拟在韩国兴建先进半导体材料厂房，生产应用于最先进制程的光刻胶，同时在日本增加新产线，整体最先进制程用光刻胶产能有望扩增 1.5 倍。

▲ 图源：WBCSD

据 MoneyDJ 报道，住友化学 8 月 31 日宣布，将加强最先进制程用光刻胶生产，计划在日本大阪工厂增设 ArF 及 EUV 用光刻胶产线，预计在 2023 年上半年启用生产。同时，其位于韩国益山市的全资子公司 Dongwoo Fine-Chem 也将兴建浸润式 ArF 用光刻胶产房，预计在 2024 年上半年启用生产。

若上述计划进展顺利，到 2024 年，住友化学整体最先进制程用（ArF）光刻胶产能将较 2019 年提高 1.5 倍。

据了解，住友化学 ArF 用光刻胶目前仅由日本大阪工厂生产，由于在性能、品质上具有优势，全球市占率高，而韩国的 Dongwoo Fine-Chem 工厂此前为公司 i 线、KrF 用光刻胶生产据点，拥有 20 年以上的生产经验。

据日经新闻报道，此次住友化学决定在韩国兴建 ArF 用光刻胶工厂，是为因应当地客户希望其分散生产，借此稳定供货给韩国芯片厂使用。需要指出的是，此次住友化学增产的光刻胶产品不在日本对韩国出口管制的清单内。