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0.75 NA！Hyper-NA EUV 首现 ASML 路线图：2030 年推出，每小时产 400-500 片晶圆

观点 / ·2024-06-14 16:30

IT之家6月14日消息，全球研发机构imec表示阿斯麦（ASML）计划2030年推出Hyper-NAEUV光刻机，目前仍处于开发的“早期阶段”。

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