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曝三星正研究用于芯片生产的聚焦环新材料，考虑用 B4C 替代 SiC
观点 / ·2022-02-15 16:54
据韩媒TheElec报道，三星正在研究和开发一种用于制造聚焦环（focusring）的新材料。

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