三星斥资430亿韩元输血光罩保护膜：为EUV光刻机保驾护航

三星一方面在积极向唯一的EUV光刻机厂商ASML争取订单，另外一方面也在增资为EUV产业链输血。

据报道，三星电子周二斥资430亿韩元（约合2.5亿）买入152万股韩国FST公司的股票，成为其第三大股东，持股占比6.9%。

FST是一家生产掩模/光罩保护膜和冷却器的厂商，保护膜简单来说就是保障光罩不受灰尘影响，冷却器则是控制半导体制造过程中的温度。

FST正在研制EUV光罩保护膜，设计目标是全尺寸，碳化硅基质，30nm尺度，透光率90%。

目前，尚未有一家公司大规模量产EUV光罩保护膜FST成功后，将对产业以及自身收入有着积极影响。

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#三星#光刻机#极紫外光刻

（李显杰 ）