DUV光刻机或被限制 韩方为保护三星、SK海力士中国工厂提出反对

尽管EUV（极紫外光源）光刻机在禁运之列，但DUV（深紫外光源）安全，就在前不久，中芯国际公告称与ASML签署了12亿美元的购买合同，内容就是DUV光刻机。

不过，在闻讯有美政客游说进一步对华禁运DUV光刻机后，韩国半导体工业协会（KSIA）已经开始交涉并提出反对，原因是担心三星、SK海力士在中国的芯片工厂受到牵连，它们对韩国经济也同样重要。

据了解，DUV光刻机目前主要是KrF（氟化氪）、ArF（氟化氩）两种投影式光刻机，此次ArF浸没式光刻机被特别点名，其对10~16nm芯片制造至关重要，价格6亿元人民币左右。

按照对2020年全球光刻机统计的数字，ArF光刻机销量112台、KrF大约130台，销量份额占比分别是27%和31%，合计接近6成。供应商方面，除了ASML，尼康、佳能也都能生产，只是销量远不如ASML。

当然，由于光刻机都难以摆脱美国技术，所以即便ASML总部荷兰，尼康、佳能总部日本，也都无济于事。

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（李佳佳 HN153）